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中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀分辨率可達(dá)0.1nm，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi)，確保了高款率檢測(cè)。可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

SuperViewW系列三維輪廓測(cè)量?jī)x分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

SuperViewW1系列光學(xué)表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，詮釋始終如一的測(cè)量品質(zhì)。

光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。