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3D粗糙度輪廓儀

產品簡介

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。

產品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-12
廠商性質:生產廠家
訪問量:1600
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中圖儀器3D粗糙度輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。


可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


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EPSI重建算法.jpg

EPSI重建算法


高速掃描的FVSI重建算法1.jpg

高速掃描的FVSI重建算法


中圖儀器3D粗糙度輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。其載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的最高精度可達0.1nm。


【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;


【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um;



應用

在3C領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;

在軍事領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度;

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