白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)與臺階儀的區(qū)別
2023-05-22
表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài),不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用,而且對一些非接觸零件的光學和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷,對研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。隨著微電子技術(shù)、光學技術(shù)、計算機技術(shù)、傳感技術(shù)、信號分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展,對表面形貌測量精度不斷提高,從微米尺度進入了納米甚至是亞納米尺度。臺階儀與白光干涉儀,兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器,但還是有所不同。1、測量方...