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SuperViewW系列3D光學(xué)輪廓成像系統(tǒng)基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

中圖儀器SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀光學(xué)成像具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW1三維光學(xué)輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.

中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)檢測儀器基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW3d表面光學(xué)輪廓檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

SuperViewW1三維3D光學(xué)輪廓儀測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。