教室停电h嗯啊好硬好湿,锕锕锕锕锕锕锕好多水社区,国产一区二区在线,免费b站在线观看人数在哪儿找

0755-83318988
PRODUCTS CENTER

產(chǎn)品中心

晶圓三維形貌測量設備

產(chǎn)品簡介

中圖儀器WD4000晶圓三維形貌測量設備采用高精度光譜共焦傳感技術、光干涉雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立3D Mapping圖,實現(xiàn)晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反應表面形貌的參數(shù)。它通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

產(chǎn)品型號:WD4000
更新時間:2024-06-11
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:714
詳細介紹在線留言

中圖儀器WD4000晶圓三維形貌測量設備采用高精度光譜共焦傳感技術、光干涉雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立3D Mapping圖,實現(xiàn)晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反應表面形貌的參數(shù)。它通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

晶圓三維形貌測量設備

測量功能

1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

3、提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標準ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù);結構分析包括孔洞體積和波谷。

晶圓三維形貌測量設備

WD4000晶圓三維形貌測量設備可實現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質晶圓的量測。廣泛應用于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組,使用一臺機器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三維形貌的測量。

2、高精度厚度測量技術

(1)采用高分辨率光譜共焦對射技術對Wafer進行高效掃描。

(2)搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤,晶圓規(guī)格最大可支持至12寸。

(3)采用Mapping跟隨技術,可編程包含多點、線、面的自動測量。

3、高精度三維形貌測量技術

(1)采用光學白光干涉技術、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;

(2)隔振設計降低地面振動和空氣聲波振動噪聲,獲得高測量重復性。

(3)機器視覺技術檢測圖像Mark點,虛擬夾具擺正樣品,可對多點形貌進行自動化連續(xù)測量。

4、大行程高速龍門結構平臺

(1)大行程龍門結構(400x400x75mm),移動速度500mm/s。

(2)高精度花崗巖基座和橫梁,整體結構穩(wěn)定、可靠。

(3)關鍵運動機構采用高精度直線導軌導引、AC伺服直驅電機驅動,搭配分辨率0.1μm的光柵系統(tǒng),保證設備的高精度、高效率。

5、操作簡單、輕松無憂

(1)集成XYZ三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準工作。

(2)具備雙重防撞設計,避免誤操作導致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

(3)具備電動物鏡切換功能,讓觀察變得快速和簡單。


應用場景

1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓三維形貌測量設備

通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護膜或圖案的晶片的完整性。


2、無圖晶圓粗糙度測量

晶圓三維形貌測量設備

Wafer減薄工序中粗磨和細磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質量。在生產(chǎn)車間強噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數(shù)據(jù)計算重復性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。


部分參數(shù)

測量速度:最快15s

測量范圍:100μm~2000μm

測量精度:0.5um

重復性(σ):0.2um

探頭分辨率:23nm

掃描方式:Fullmap 面掃、米字、 自由多點

測量參數(shù):厚度、TTV(總體厚度變化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等

可測材料:砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、 鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、氮化鎵、玻璃、外延材料等

請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7

關注公眾號,了解最新動態(tài)

關注公眾號
0755-83318988

Copyright © 2025 深圳市中圖儀器股份有限公司版權所有

技術支持:化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml

備案號:粵ICP備12000520號

再深点灬舒服灬太大了学长小说| 国产成人精品久久| 玩弄朋友娇妻呻吟交换电影 | 老牛精品亚洲成av人片| 日本a级作爱片| 亚洲午夜精品久久久久久浪潮| 野外玩弄大乳孕妇| 欧美激情AAAAAAAA片| 雯雯被四个男人拖进工地| 成免费crm| 波多野结衣av无码| 最新的zoom动物马| 性调教室高h学校| 男女动态图| 国产乱码精品一区二区三区久久| 丰满中国少妇和黑人玩| 女同互慰高潮呻吟免费播放| 丰满少妇被猛烈高清播放| 穿成小奶娃各种做肉高h| 成人做爰高潮a片免费视频| 勃起大粗又硬湿又滑深又长| 偷窥美女洗澡一区二区三区| 国产美女极度色诱视频www| 88久久精品无码一区二区毛片| 好猛好深好爽喷水无码视频| 掀起裙子扶着巨物坐下去 | 男人呻吟双腿大开男男h漫画在线| 性生生活大片又黄又| 欧美酷刑sm在线播放| 人妻 丝袜美腿 中文字幕| 亚洲精品乱码久久久久久不卡| 一本大道色卡1卡2卡3| 日韩无码av| 第一次破了女处小红| 精品久久久久久久无码| 久久精品中文字幕| 乳夹 震动 走绳play 调教| 亚洲人成色777777精品| 日产一二三区别免费必看| 再深点灬舒服灬太大了| 国产做a爰片毛片a片美国|