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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心激光測(cè)量?jī)x激光干涉儀SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)
激光干涉儀系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)自動(dòng)采集數(shù)據(jù),避免人為讀數(shù)誤差,精度高;使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)??蓪?shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
更新時(shí)間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1011
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激光干涉儀系統(tǒng)具有高精度、高靈敏度、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量??勺鳛殚L(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。


在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

530.jpg

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz

預(yù)熱時(shí)間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH


環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa


線性測(cè)量距離:(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量范圍:測(cè)量范圍:±10°

平面度測(cè)量范圍:±1.5mm

對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn).jpg

功能特點(diǎn)

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。


功能廣

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖800.jpg

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。


傳感器線性精度測(cè)量.jpg

傳感器線性精度測(cè)量


SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)自動(dòng)采集數(shù)據(jù),避免人為讀數(shù)誤差,精度高;使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。

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