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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀光學(xué)3D輪廓儀SuperViewW13d光學(xué)輪廓測量儀
3d光學(xué)輪廓測量儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW13d光學(xué)輪廓測量儀可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1080
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3d光學(xué)輪廓測量儀測量精度高,測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

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SuperViewW13d光學(xué)輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

超精密加工.jpg

性能參數(shù)

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標(biāo)準(zhǔn)視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


XY位移平臺(tái)

尺寸
320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
形貌重復(fù)性0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
臺(tái)階測量

準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機(jī)尺寸700×606×920㎜


SuperViewW1光學(xué)輪廓儀可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。測量大尺寸樣品時(shí),支持拼接功能,將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。


行業(yè)應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),可以測量臺(tái)階高度和表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。

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