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w系列光學(xué)表面輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

從檢測(cè)效果和操作簡(jiǎn)便上來(lái)看,w系列光學(xué)表面輪廓儀是比較有優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品??梢詼y(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,xy載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm(可擴(kuò)展),局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1274
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超精密加工這個(gè)行業(yè)覆蓋面比較廣,包括航空航天上用到精密零部件,包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件,大多數(shù)由于要求在檢測(cè)過(guò)程中不能劃傷器件表面,因此在檢測(cè)方式上需要采用非接觸式的方式,因而需要用白光干涉儀這類光學(xué)測(cè)量?jī)x器。從檢測(cè)效果和操作簡(jiǎn)便上來(lái)看,白光干涉儀是比較有優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品。


w系列光學(xué)表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


3.jpg


w系列光學(xué)表面輪廓儀可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,xy載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm(可擴(kuò)展),局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件;也可以測(cè)量大尺寸樣品,支持拼接功能,將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。


大尺寸樣品_拼接測(cè)量.jpg

光學(xué)3D表面輪廓儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、表面缺陷、磨損情況、粗糙度、波紋度、臺(tái)階高度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、科研院所等領(lǐng)域中。

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