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3d光學(xué)表面輪廓儀器

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),主要用于質(zhì)量控制和檢測應(yīng)用。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1674
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專注于質(zhì)量控制和不斷增長的工業(yè) 4.0推動了 3D測量市場的增長。3d光學(xué)表面輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),主要用于質(zhì)量控制和檢測應(yīng)用。在汽車、建筑和建筑、醫(yī)療、半導(dǎo)體和電子、能源和電力、重型機(jī)械、采礦等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。


SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。


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產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀器的重建算法能自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm??梢詼y到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;也支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。在半導(dǎo)體等超精密加工行業(yè)中有著重要作用。


如半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域主要是檢測硅片的表面粗糙度,也是采用從批量硅片中抽若干片進(jìn)行檢測的方式進(jìn)行,在抽檢的硅片上抽點進(jìn)行檢測,主要需求參數(shù)為粗糙度,其次為臺階高。


硅晶圓粗糙度測量.jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測.jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測


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