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三維光學(xué)表面輪廓儀

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中圖儀器SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀分辨率可達(dá)0.1nm,測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測(cè)??梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2155
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中圖儀器SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀專用于超精密加工領(lǐng)域,分辨率可達(dá)0.1nm,屬于3D測(cè)量領(lǐng)域高精度檢測(cè)儀器之一。具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

 

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SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件,采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,測(cè)量精度要求為<0.75%,重復(fù)精度要求<0.1%(1σ)(測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差),主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量,主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓等。

 

 

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


 

SuperViewW系列光學(xué)3d表面輪廓儀支持自動(dòng)聚焦功能,只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面(小于鏡頭工作距離),選擇好聚焦范圍,即可自動(dòng)聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。

 

 

特點(diǎn)

一是非接觸高精密測(cè)量,不會(huì)劃傷甚至破壞工件;

二是測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量;

三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置;

四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。

 

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來,一直堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì),具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力。

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