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NS系列軟膜材料臺(tái)階高度儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

中圖儀器優(yōu)于4nm(SE)國產(chǎn)掃描電鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng)，讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

CEM3000系列超清掃描顯微鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。其抗振設(shè)計(jì)，在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

VT6000系列國產(chǎn)共聚焦3D顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。