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中圖儀器VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術，通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力；以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器NS200國產(chǎn)臺階儀采用接觸式表面形貌測量，對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡。它是以共聚焦技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓪Ω鞣N產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀檢測設備以白光干涉技術為原理，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

NS200臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。