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中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)測量顯微鏡?是基于光學(xué)共軛共焦原理，以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀摩擦磨損形貌檢測儀非接觸式掃描測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列國產(chǎn)探針接觸式臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，用于測量臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。

中圖儀器NS系列納米級(jí)高精度臺(tái)階儀用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，集成超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

中圖儀器VT6000材料表面共聚焦測量顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000激光共聚焦微觀幾何輪廓測量儀以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。