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?中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓儀檢測(cè)儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學(xué)表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀一體化操作軟件，測(cè)量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)快速批量測(cè)量。

在測(cè)量大尺寸樣品時(shí)，中圖3d輪廓檢測(cè)儀器的拼接功能，能將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于汽車(chē)零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。