光學(xué)輪廓儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進(jìn)行測量的，是接觸測量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測量某些難以測量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。

　　光學(xué)輪廓儀的主要功能：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。專的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

　　2、干涉

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　　相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

　　②白光干涉(VSI)

　　白光干涉是一種納米級(jí)測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。

　　3、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對(duì)工件和模具測量特別有用。

　　4、薄膜測量

　　用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測量。Sneox在增加了分光反射計(jì)后可以測量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，最小的測量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測量能同時(shí)進(jìn)行。