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激光干涉儀測量機床精度之線性測量

更新時間:2022-11-02點擊次數(shù):1835

數(shù)控機床因為高精度、高效率、多功能等優(yōu)點,廣泛應用于各行業(yè)中。為了保證機床的加工精度,需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查,這樣才能保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量。

線性測量是激光干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量。


線性測量構建

進行線性測量需使用到“線性干涉鏡"(由分光鏡和角錐反射鏡A組 成)和“線性反射鏡"(角錐反射鏡B)。激光從SJ6000激光干涉儀主機(激光頭)出射,通過分光 鏡后將分成兩束激光,一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光,另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測量光,通過移動“線性反射鏡"可實現(xiàn)運動軸的線性測量。


線性測量原理構建圖


SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可以輸出高精度、抗擾力強、高穩(wěn)定性的激光頻率。其線性測量可滿足(0?80)m范圍內(nèi)的精密測量,主要應用于測量直線導軌的定位精度、重復 定位精度和反向間隙等。


數(shù)控機床的線性測量


數(shù)控機床傾斜軸的線性測量

線性測量步驟:

1、設置激光器系統(tǒng)以執(zhí)行線性測量;

2、使激光束與機床的運動軸準直;

3、啟動自動環(huán)境補償功能,確保在軟件中輸入正確的材料膨脹系數(shù);

4、測量和記錄機床的線性誤差;

5、分析數(shù)據(jù)。


注意事項

1、線性測量過程尤其是在測量與激光頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時候,光路調(diào)節(jié)困難,這時候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。

2、使用光靶能簡單準直激光束

3、在開始測量時,或者在返程測量時激光干涉儀不踩點,可能原因有:

(1)光強太弱;

(2)當返回測量時,激光干涉儀不采集數(shù)據(jù)。這時候要分析“越程"量設置是否正確,或是機床在程序運行中有沒有考慮“越程"。

4、線性反射鏡箭頭方向就是激光進行方向,一定要正確組合線性反射鏡組。

5、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直,這將為后面進行找正光源做好基礎。

6、激光頭預熱時間會根據(jù)氣溫的變化而變化,所以在測量數(shù)據(jù)前要保證在激光波長穩(wěn)定后進行。

7、測試工作完成后,應先將激光頭電源關掉,關閉電腦。


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