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引起激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因,你可知?

更新時(shí)間:2022-03-09點(diǎn)擊次數(shù):2550

激光干涉儀是精度線性位移測(cè)量?jī)x器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測(cè)時(shí),對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。下面講講引起激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因哈!


1、阿貝誤差

因測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。




上表可得:角度1″在500mm偏置距離下引起的誤差大約是2.40um。


按GB/T17421.2《機(jī)床檢驗(yàn)通則》2000版分析標(biāo)準(zhǔn)得出結(jié)果,鏡組安裝高度偏離設(shè)備運(yùn)動(dòng)軸線越遠(yuǎn),檢測(cè)結(jié)果中重復(fù)精度以及定位精度就越差。


正確方式:設(shè)備校準(zhǔn)時(shí)線性鏡組的安裝高度應(yīng)該盡量靠近被測(cè)軸,使激光光束與運(yùn)動(dòng)軸重合(或盡量靠近),減小阿貝誤差。


擴(kuò)展:SJ6000激光干涉儀用戶在進(jìn)行兩臺(tái)同類設(shè)備定位精度的對(duì)比時(shí),應(yīng)該進(jìn)行同軸比對(duì),即共用線性鏡組,這樣才具有可比性。


2、環(huán)境因素

環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對(duì)濕度信息,基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率,以此對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行補(bǔ)償。


同時(shí)環(huán)境補(bǔ)償單元中材料溫度探頭能實(shí)時(shí)高精度測(cè)量被測(cè)設(shè)備溫度,對(duì)其進(jìn)行溫度補(bǔ)償。但是往往因?yàn)椴僮魅藛T將材料溫度探頭放置在錯(cuò)誤的位置,致使采集的數(shù)據(jù)不能真實(shí)反映被測(cè)物體溫度狀態(tài),從而增大測(cè)量誤差。


設(shè)備安裝在樓層地下室,有良好的溫度風(fēng)流控制,有效處理了環(huán)境的震動(dòng)問題、氣流擾動(dòng)問題。測(cè)量時(shí)因把材料溫度探頭以“錯(cuò)誤方式"放置在擺放電腦的鐵架上,材料溫度探頭采集了非真實(shí)的被測(cè)物溫度信息,致使300mm量塊檢測(cè)數(shù)據(jù)超差。


把材料溫度探頭以“正確方式"放置在被測(cè)量塊周邊,并給予充分的恒溫時(shí)間,測(cè)量結(jié)果趨于中國(guó)計(jì)量院的校準(zhǔn)值。


正確方式:在線性測(cè)量中,需要開啟環(huán)境補(bǔ)償單元,并正確設(shè)置補(bǔ)償材料的種類,放置材料溫度探頭的位置。在高精度的測(cè)量中,需要給予環(huán)境補(bǔ)償單元以及被測(cè)物充分的恒溫時(shí)間。


  3、余弦誤差

激光束路徑與被測(cè)軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測(cè)得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng)距離之間有差異,此誤差被稱為余弦誤差。


當(dāng)激光測(cè)量系統(tǒng)與運(yùn)動(dòng)軸未準(zhǔn)直時(shí),余弦誤差會(huì)使得測(cè)量的距離比實(shí)際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加,誤差也跟著顯著增加,如下表所示:


處理方法:若激光測(cè)量出現(xiàn)余弦誤差,則激光讀數(shù)將會(huì)小于原本應(yīng)有的數(shù)值。因此,通過(guò)“輕微"調(diào)整云臺(tái)的俯仰及偏轉(zhuǎn)旋鈕直到取得zui大的激光讀數(shù),將能消除軸上的余弦誤差。


4、死程誤差

死程誤差是在線性測(cè)量過(guò)程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差,在正常狀況下,死程誤差并不大,而且只會(huì)發(fā)生在定標(biāo)后以及測(cè)量過(guò)程中的環(huán)境改變。


當(dāng)測(cè)量時(shí)系統(tǒng)定標(biāo)為L(zhǎng)1,若干涉鏡及反射鏡之間沒有動(dòng)作,且激光束四周的環(huán)境狀況有所改變,整個(gè)路徑(LI+L2)的波長(zhǎng)(空氣中)都會(huì)改變,但激光測(cè)量系統(tǒng)只會(huì)對(duì)L2距離進(jìn)行補(bǔ)償。因此,死程測(cè)量誤差會(huì)由于光束路徑L1沒有獲得補(bǔ)償而產(chǎn)生。


處理方法:在設(shè)定定標(biāo)位置時(shí),固定反射鏡和移動(dòng)鏡組應(yīng)盡量彼此鄰接,以此減小死程誤差。


5、鏡組的安裝細(xì)節(jié)

■將鏡組固定牢靠

為了zui小化振動(dòng)作用并加強(qiáng)測(cè)量穩(wěn)定性,鏡組應(yīng)牢靠固定到所需的測(cè)量點(diǎn)上;磁力表座應(yīng)直接吸住機(jī)床底座,避免吸裝在機(jī)床護(hù)罩或機(jī)床蓋等較薄弱的部分;確保吸裝的表面平坦且沒有雜質(zhì)。


  6、正確使用精度


上圖是中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院檢測(cè)SJ6000激光干涉儀線性位移的數(shù)據(jù),這表明SJ6000激光干涉儀在正確的安裝手段、正確的環(huán)境補(bǔ)償、穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境下即使70米距離都能滿足0.1Lum(L測(cè)量長(zhǎng)度,單位:m)精度,超出設(shè)備的線性標(biāo)稱精度0.5Lum(L測(cè)量長(zhǎng)度,單位:m)。

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